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精確的壓力控制能改善真空鍍膜效果
點擊次 更新:2021-08-19 14:43:10 來源/作者:www.tapaapacconference.com
艾里卡特MCE系列和MCV系列直接替代通用型工業用質量流量控制器。
 
MCE系列和MCV系列質量流量控制器可用來替換傳統和已停產的MKS設備。MCE系列和MCV系列產品按照通用的工業用質量流量控制器尺寸設計,易于集成在現有系統中。在使用中,MCE系列和MCV系列質量流量控制器可快速、精確地控制流量,從而保障工藝均勻性和工序質量。
 
艾里卡特MCE系列和MCV系列質量流量控制器以50~100毫秒的控制響應速度精確地控制氣體流量,量程范圍為0-0.5 sccm(滿量程)至0-20 slpm(滿量程)??焖俚目刂祈憫梢源蟠蟾纳普婵斟兡ぷ罱K產品質量,并且有助于消除靶中毒。集成式氣動切斷閥為常閉狀態,可提供氦氣泄漏率僅為1 x 10-9 atm-sccm/s的正向切斷。
 
MCE系列質量流量控制器用于取代MKS傳統型號1179A Mass-Flo?,而MCV系列質量流量控制器則用于取代MKS已停產的型號2179A Mass-Flo?的。艾里卡特質量流量控制器均采用12-30伏通用電源適配器供電。此外,艾里卡特質量流量控制器的通訊接口可與所有現有的9針或15針D-sub引腳相匹配,從而方便用戶進行替換。艾里卡特質量流量控制器可被任意方向安裝,甚至倒置,不需要進行再次校準,因此大大簡化了安裝過程。
 
預設了98種常用氣體的MCE系列和MCV系列質量流量控制器內預設了98種可以測量質量流量、體積流量、以及絕對壓力和溫度,并自帶溫度和壓力補償功能。用戶可通過質量流量控制器自帶的顯示屏接輸入設定值,也可通過RS-232(或RS-485)串口通訊進行遠程設定。
 
MCE系列和MCV系列質量流量控制器采用的艾里卡特專利的層流壓差技術,具有NIST可溯源校準證書以及CE認證。
 

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